製品技術

独自のビームシェイピング技術

　　◆高均一強度分布：最小変動率+/-7.5％

　◆最細線幅５μm (1/e2)

　 ◆マルチライン・マルチパターン

　 ◆ラインエッジ光量低下補正

　 ◆テレセントリック

　 ◆トップハット型ビームプロファイル

均一強度分布(ノンガウシアン)

光切断計測の用途では、ラインの均一強度分布は高く求められる性能のひとつです。　　　　　　　　さまざまなレベルの光強度均一性をオプションで対応いたします。当社では社内でレンズ製造の設備を持ち、さまざまなレーザービームに適応できる体制を確立しております。

仕様	標準	オプション
投光角(FA)	1, 5, 10, 15, 20, 30, 45, 60, 75, 90°	ご指定の投光角：最大120°
均一強度分布	変動率±30％(標準)	＜±10%,　＜±15%、＜±20%,　＜±25％＊トップハット型ビームプロファイルシングルモードビーム±1％(TEM00)
ライン直進性	±0.1％(ライン長80％)	0.03%,　0.05％

フォーカスタイプ

用途に合わせて4種類のフォーカスタイプより選択してください。アプリケーションにより作動距離、ライン幅、被写界深度の間で最適化を図ることが重要です。レーザー光の線幅が√２(約1.4)倍以上広がらない範囲を被写界深度と定義されており、極細ラインほど被写界深度がより小さくなります。

SLシリーズフォーカスタイプ	最小ビームサイズ (ライン幅)	被写界深度	ビーム径(1/e2) @出射端
A	1	1	3.5ｍｍ
B	3.5×A	12×A	1.0ｍｍ
C (オプション)	0.5×A	0.25×A	7.5ｍｍ
D (オプション)	1.6×A	2.5×A	2.2ｍｍ

ILSシリーズフォーカスタイプ	最小ビームサイズ (ライン幅)	被写界深度	ビーム径(1/e2) @出射端
A	1	1	3.5ｍｍ
B	1.4×A	2×A	2.5ｍｍ
C (オプション)	0.56×A	0.3×A	6.5ｍｍ

＊表はAタイプを1とした場合の相対値を表しています　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＊フォーカスチャート(線幅/被写界深度)の詳細情報については、お問い合わせください

ミクロライン

計測・検査技術の高精度化でさらに精細なライン要求に対応するため最小線幅５μm(1/e2)を実現しました。このオプションはすべての機種に適用できます。ライン幅は、その作動距離と相関的関係にあります。ラインの長さに沿ってライン幅は広くなります。このためライン幅が被写界深度以内になるように最大投光角(最大ライン長さ)には限度があります。

作動距離 (mm)	ライン幅(μm) (1/e2)	被写界深度 (μm)	最大投光角 (度)	ライン端の幅 (μm)
25	5	50	5	7
50	9	150	5	11
75	12	350	7.1	17
100	15	600	7.1	21

＊本体の先端部の寸法が長くなります　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＊寸法図を参照してください　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＊製品のライン幅は要求された作動距離で調整・設定し、出荷します

エッジ光量分布補正

大きい視野角で投光する用途の場合、コサイン４乗則(光軸に対して傾いて入射する光は、傾斜角のコサイン4乗に比例して光量が低下する)により、両端のエッジ部の光量が低下します。この現象に対応するため、新しくライン光量分布を補正する技術を開発しました。

＊上図は均一光量分布、ライン光量分布補正A 30% 　ライン光量分布補正B 70％を表したグラフです

マルチライン・マルチパターン

回析光学素子(DOE)を用いてマルチライン・マルチドットを標準品で対応いたします。

ライン間ビーム角	3ライン	1.50°　　5°　　7°
	5ライン	0.23°　　5°
	１５ライン	2.30°
	１９ライン	0.77°
	６５ライン	0.41°